三英精控纳米台特点
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
准：电容传感器的应用及先进的控制模式和算法，保证纳米台的运动精度。
稳：优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性，保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-XY25Z20-01超紧凑型XYZ三维纳米定位台
典型应用：
AFM/SPM/SNOW
光学探针
表面检测
半导体加工
高密度存储
技术参数：
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型号
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NS-XY25Z20-01
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运动轴
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X/Y/Z
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传感器类型
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电容式
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闭环行程( μm )
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25/25/20
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闭环分辨率( nm )
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0.1/0.1/0.1
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线性度( % )
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0.05/0.05/0.05
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无负载下谐振频率(Hz)
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1400/1400/1000
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端口
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D-sub15
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材料
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铝合金
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最大负载( kg )
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1
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自重( kg )
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0.3
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尺寸( mm )
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69 x 69 x 37.5
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注：闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图：
如有客户需求，三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的技术支持与服务。