NS-ZRXY-01高分辨率移相器
典型应用：
对焦
白光干涉
探针校准
表面扫描
物镜调整
光学移相
技术参数：
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型号
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NS-ZRxy-01
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运动轴
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Z/Θx/θy
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开环行程
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θx=θy=±230μrad;z=25μm
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开环分辨率
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0.2nm/0.1μrad/0.1μrad
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响应频率 空载
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823Hz
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响应频率 （负载3000g）
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247Hz
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刚性
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8.2N/μm
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最大负载
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10kg
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电压范围
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-30~+50V
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接头
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D-sub15
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线长
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1.5m
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线缆最小弯曲半径
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>15mm
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材料
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太空铝
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尺寸
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Φ158×42.3mm
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开孔尺寸
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Φ104mm
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重量
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1240g
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注：闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图：
如有客户需求，三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的技术支持与服务。