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 中国科学院微电子研究所是一所专门从事微电子领域研究与开发的国立研究机构,是中国科学院微电子技术的总体和中国科学院EDA中心的依托单位,主要研究方向为:①集成电路先导工艺与仪器装备技术;②集成电路与系统设计技术;③高性能器件与电路集成技术;④射频、微波器件与电路集成技术;⑤三维集成与系统封装技术;⑥新型纳米器件与集成技术;⑦物联网与传感器技术。 [详细介绍]
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