中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司  

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 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司创建于1958年，前身为中国科学院沈阳科学仪器研制中心。园区位于辽宁省沈阳市浑南区，占地面积110亩，建筑面积3.5万平方米。多年来，公司专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术试验基地”、“国家多功能电子能谱仪生产基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台。 [详细介绍]