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三英精控(天津)仪器设备有限公司  
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大行程高精度运动平台、纳米和亚纳米运动控制平台、纳米位移电容传感器、精密运动控制集成系统等系列产品

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首页 > 供应产品 > NS-XY100-02真空吸盘XY二维纳米定位台
NS-XY100-02真空吸盘XY二维纳米定位台
单价 82500.00 / 台对比
询价 暂无
浏览 905
发货 天津预售,付款后45天内
品牌 三英精控
过期 长期有效
更新 2020-08-12 08:47
 
详细信息

三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。
准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。
稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-XY100-02真空吸盘XY二维纳米定位台
典型应用:
表面检测
显微成像
激光技术
半导体加工与测试
高密度光存储与磁存储
技术参数:
型号
NS-XY100-02
运动轴
X/Y
传感器类型
电容式
闭环行程
100/100μm
闭环分辨率
0.5/0.5nm
线性度
0.02/0.02%
无载谐振频率
400/400Hz
端口
D-sub15
材料
铝合金
最大负载
1kg
尺寸
153 x 153 x 32.7mm
注:闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图:
 NS-XY100-02尺寸图
如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。