三英精控纳米台特点
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
准：电容传感器的应用及先进的控制模式和算法，保证纳米台的运动精度。
稳：优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性，保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-XY100Z15-01重载XYZ三维纳米定位台
典型应用：
激光加工
显微成像
光学测量
表面检测
半导体加工
技术参数：
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型号
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NS-XY100Z15-01
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运动轴
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X/Y/Z
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传感器类型
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电容式
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闭环行程
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100/100/15μm
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闭环分辨率
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0.5/0.5/0.1nm
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线性度
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0.02/0.02/0.03%
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无载谐振频率
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600/600/900Hz
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端口
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D-sub15
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材料
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铝合金
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最大负载
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5kg
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体积
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140 x 140 x 30.2mm
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注：闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图：
如有客户需求，三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的技术支持与服务。