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三英精控(天津)仪器设备有限公司

大行程高精度运动平台、纳米和亚纳米运动控制平台、纳米位移电容传感器、精密运动...

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首页 > 供应产品 > NS-XY100Z15-01重载XYZ三维纳米定位台
NS-XY100Z15-01重载XYZ三维纳米定位台
点击图片查看原图
产品: 浏览次数:162NS-XY100Z15-01重载XYZ三维纳米定位台 
品牌: 三英精控
单价: 87000.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 45 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-08-13 14:03
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详细信息

三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。
准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。
稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-XY100Z15-01重载XYZ三维纳米定位台
典型应用:
激光加工
显微成像
光学测量
表面检测
半导体加工
技术参数:
型号
NS-XY100Z15-01
运动轴
X/Y/Z
传感器类型
电容式
闭环行程
100/100/15μm
闭环分辨率
0.5/0.5/0.1nm
线性度
0.02/0.02/0.03%
无载谐振频率
600/600/900Hz
端口
D-sub15
材料
铝合金
最大负载
5kg
体积
140 x 140 x 30.2mm
注:闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图:
 NS-XY100Z15-01尺寸图
如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。
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