小型光学粗糙度传感器Horos

1.Horos—光学粗糙度传感器。

2.测量样本。

3.钻石旋转加工表面的测量结果。

4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。

 

系统简介
 

随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。

 

特征及技术参数
 

- 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。

- 灵敏度R_q<0.5 nm

- 测量时间： < 1 s。

- 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。

 

 

传感器：
 

Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。

 

应用：

可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测：

- 平面或复杂（自由形状）表面。

- 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。

- 机械零件。

- 汽车工业。