PTS-17系列惯性电机平移台
说明:PTS-17系列平台采用惯性电机作为驱动,可选配微型反馈系统,具有优良的定位及位置反馈性能;该系列平台宽度均为17mm,高度均为11.5mm,结构精巧,实现超小尺寸、高精度、长寿命。主体采用高硬度航空铝材质,驱动部件可实现纳米级步进量。因此适用于小空间、小负载、微米及纳米级运动定位运用场景。
特点:超小体积、高重复定位精度。
使用场景:光学腔体、真空环境、小空间运用场景。
产品参数:
型号
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PTS-17-12/G
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PTS-17-20/G
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PTS-17-25/G
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PTS-17-30/G
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PTS-17-35/G
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PTS-17-40/G
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PTS-17-50/G
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PTS-17-60/G
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行程(mm)
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12
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20
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25
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30
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35
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40
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50
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60
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直线度(μm)
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5
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10
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15
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20
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25
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30
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35
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35
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偏摆(arcsec)
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±20
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±20
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±20
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±40
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±40
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±60
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±60
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±60
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俯仰(arcsec)
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±20
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±20
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±20
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±40
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±40
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±60
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±60
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±60
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分辨率(nm)
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18
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18
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18
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18
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18
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18
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18
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18
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重复定位精度(nm)
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±200
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±200
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±200
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±200
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±200
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±200
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±200
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±200
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精度(μm)
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±2
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±2
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±2
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±2
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±3
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±3
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±3
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±3
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最大速度(mm/s)
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2
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2
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2
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2
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2
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2
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2
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2
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最大负载(kg)
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1
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1
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1
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1
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1
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1
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1
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1
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开环最小步进量(nm)
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10
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10
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10
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10
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10
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10
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10
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10
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闭环最小步进量(nm)
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36
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36
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36
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36
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36
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36
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36
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36
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驱动方式
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惯性电机
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惯性电机
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惯性电机
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惯性电机
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惯性电机
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惯性电机
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惯性电机
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惯性电机
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尺寸图: