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NS-XY400Z100-01 超大行程XYZ三维纳米定位台图1

NS-XY400Z100-01 超大行程XYZ三维纳米定位台

2020-08-13 14:0313631询价
价格 84000.00
发货 天津预售,付款后45天内  
品牌 三英精控
该产品库存不足
产品详情

三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。
准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。
稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-XY400Z100-01 超大行程XYZ三维纳米定位台
典型应用:
显微成像
激光加工
半导体检测
超分辨率成像
大样品AFM/SPM/SNOM 
技术参数:
型号
NS-XY400Z100-01
运动轴
X/Y/Z
传感器类型
电容式
闭环行程( μm )
400/400/100
闭环分辨率( nm )
1.5/1.5/0.5
线性度( % )
0.02/0.02/0.04
无负载下谐振频率( Hz )
200/200/700
端口
D-sub15
材料
铝合金
最大负载( kg )
0.5
自重( kg )
1.64
尺寸( mm )
170 x 170 × 30
注:闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图:
 NS-XY400Z100-01尺寸图
如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。
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