NS-ZRXY-01高分辨率移相器

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品牌: 三英精控
单价: 10000.00元/台
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所在地: 天津
有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-08-13 14:03
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详细说明

NS-ZRXY-01高分辨率移相器
典型应用:
对焦
白光干涉
探针校准
表面扫描
物镜调整
光学移相
技术参数:
型号
NS-ZRxy-01
运动轴
Z/Θx/θy
开环行程
θx=θy=±230μrad;z=25μm
开环分辨率
0.2nm/0.1μrad/0.1μrad
响应频率  空载
823Hz
响应频率  (负载3000g)
247Hz
刚性
8.2N/μm
最大负载
10kg
电压范围
-30~+50V
接头
D-sub15
线长
1.5m
线缆最小弯曲半径
>15mm
材料
太空铝
尺寸
Φ158×42.3mm
开孔尺寸
Φ104mm
重量
1240g
注:闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图:
 NS-ZRXY-01尺寸图
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