三英精控高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动，内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，采用有限方针分析优化柔性铰链结构，紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了高速偏摆镜具有极佳的运动控制精度，定位精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，紧凑型设计，可以更好的集成于光学系统。
NS-RBX4Y6-01二维高速偏摆镜
典型应用：
激光加工
激光瞄准
远距离通讯
光学对准
产品参数：
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型号
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NS-RBX4Y6-01
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运动轴
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θxθy(Tip/Tilt)
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传感器类型
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电容式
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闭环行程( mrad )
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θx:4 θy:6
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闭环分辨率( μrad )
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0.08
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线性度( % )
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0.2
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无负载下谐振频率( Hz )
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1000
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带负载谐振频率( Hz )( 200g )
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500
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端口
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D-sub15
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材料
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铟钢（航空铝可选）
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最大负载
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Φ127×15mm Mirror ( 500g )
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自重( kg )
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2.3
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尺寸( mm )
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130 × 130× 94.5
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注：闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图：
