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NS-XY25Z20-01超紧凑型XYZ三维纳米定位台图1

NS-XY25Z20-01超紧凑型XYZ三维纳米定位台

2020-08-13 14:0314690询价
价格 72000.00
发货 天津预售,付款后45天内  
品牌 三英精控
该产品库存不足
产品详情

三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。
准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。
稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-XY25Z20-01超紧凑型XYZ三维纳米定位台
典型应用:
AFM/SPM/SNOW
光学探针
表面检测
半导体加工
高密度存储
技术参数:
型号  
NS-XY25Z20-01
运动轴
X/Y/Z
传感器类型
电容式
闭环行程( μm )
25/25/20
闭环分辨率( nm )
0.1/0.1/0.1
线性度( % )
0.05/0.05/0.05
无负载下谐振频率(Hz)
1400/1400/1000
端口
D-sub15
材料
铝合金
最大负载( kg )
1
自重( kg )
0.3
尺寸( mm )
69 x 69 x 37.5
注:闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图:NS-XY25Z20-01尺寸图
 
如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。
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