NS-Z1000-01超大行程Z轴物镜定位台

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品牌: 三英精控
单价: 45000.00元/台
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所在地: 天津
有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-08-12 08:47
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详细说明

三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。
准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。
稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-Z1000-01超大行程Z轴物镜定位台
典型应用:
晶圆切割
显微成像
微电子精密加工
物镜调焦及扫描
可定制不同的物镜接口
技术参数:
型号
NS-X1000-01
运动轴
X
传感器类型
电容式
闭环行程( μm )
1000
闭环分辨率( nm )
5
线性度( % )
0.1
无负载下谐振频率( Hz )
150
端口
D-sub15
材料
铝合金
最大负载( kg )
0.8
尺寸( mm )
77 x 40 x 31
注:闭环分辨率与带宽有关。

尺寸图:
NS-Z1000-01尺寸图 
如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。
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