用于测量光学元件散射光的紧凑型台式散射仪

测量高性能光学元件的散射光对仪器的要求非常严格，主要要求概括如下：

￭ 在相关的波长下进行测量（尤其是膜层）

￭ 高动态范围（对于可见光光学至少需要11个数量级）

￭ 高灵敏度（对于可见光光学等效噪声ARS <10-6 sr-1），散射损耗在ppm级，粗糙度在亚纳米量级

￭ 小近角限值（对于成像应用<1°）

￭ 3D功能（在入射面内外测量）

￭ 测量达到弯曲样品的能力以及绘制大的采样区间

为达到这些要求，对用在仪器中的组件和程序有更好的要求，如：

￭ 高机械精度和测角仪系统的高稳定性，需要考虑由重力造成的弯曲效应

￭ 尽可能少的固有散射和杂散光的光束发生系统

￭ 低噪声、高灵敏度和在整个动态范围成线性的检测系统

￭ 强大的测量和校准系统

￭ 可靠的不确定分析

由Fraunhofer IOF开发的散射仪的测量精度要远远超出传统的测角光度计，该测量可以直接与我们用实验室的设备测出来的结果联系起来，通过测量仪器的特征可以证实仪器的性能。该系统是目前市场上唯一一个满足上述要求测量高性能光学元件的仪器，对比由美国Schmitt生产的CASI它有有利的竞争力，它不局限与小样品和平面内的测量。

Fraunhofer IOF面对的客户是企业、研究所和大学，我们提供标准的设备并提高针对于特定任务的解决方案。其中一个用户这样总结道：“我是欧洲航天局光学实验室ESTEC在荷兰地区的副经理Dominic Doyle，最近我们购买了由Fraunhofer IOF开发的ALBATROSS-TT 3D角分辨散射测量仪，之所以选择IOF为供应商是因为他们在这一领域中的超绝能力以及在ARS和BRDF测量技术和散射分析上的出色的专业技能，我们非常高兴购买这一仪器，并毫不犹豫向精密光学及光学机械等领域推荐ALBATROSS-TT散射仪。

散射仪ALBATROSS-TT的工作台显（基于激光的透射率、反射率和光散射测量）示在图1中。在ASTM E2387中，它提供光学和非光学表面的角分辨光散射、反射率和透射率、膜层和材料的高精度测量，测量直径高达200mm，并可以提供多个波长。在此我们在第3页至第5页引用了最新的一代仪器的详细说明书和选项。

2.说明书 • 测量散射光(ARS, BRDF, BTDF)、R和T • 3D球面测量能力 • 完整的外壳 • 自动化轴（极角、方位角、入射角） O 角分辨率：<0.001° O 测角精度：<0.02° (2D), 0.1° (3D)  O 调整范围（参见图2的说明）： ￭ 极角  ：-270° .. +270°  ￭ 方位角 ：-  90° .. +  90°  ￭ 入射角 ：-  90° .. +  90°  样品调整： O 3个平移轴和3个旋转手动轴 O 调整范围： ￭ X, Y, Z：-12.5 mm .. +12.5 mm   ￭ ：360°  ￭ ：±2.5° • 最大样品规格： O 最大承重：1 kg  O 最大尺寸：ø200 mm x 100 mm  • 光源： O 标准： Nd:YAG，532 nm O 选项1：一个额外的光源 O 选项2：两个额外的光源 O 额外光源的规格 ￭ 布局：紧凑型激光头 ￭ 波长：λ =200 nm到850 nm（依照需要还有其它波长） ￭ 即（λ以nm为单位）：375, 405, 422, 445, 473, 488, 520, 552, 561, 640, 660, 685, 730, 785 O 由软件自动切换光源 O 在不同的波长λ处进行仿真测量 O 根据要求还有其它的一些选项 • 偏振 O 照明：原形偏振光，S、P偏振光 O 检测器：不带偏振特性的。S、P偏振特性的 • 互换孔径：0.2°到 2°（全孔径角），对应于立体角分别为 10-05 sr和 10-03sr • 近角限制： 0.2° • 动态范围：放大量级大于13阶（参见图4） • 等效噪声ARS：<10-08sr-1 3.更多的组件 • 自动控制软件„ScatterControl” O 直接轴向控制 O 自动程序校准和测量 O 数据图 O 数据导出(ASCII, JPG, …)  • 用户手册（包含样品螺纹安装电网的机械制图） • PC、显示器、鼠标和键盘（Windows 7或更高版本的） • 安装在用户的网站上，高达三个员工三个工作日的简报 • 选项4：紧凑强大型的集合式仪器的表框组件、PC和显示器（参见图3）