白光干涉仪品牌 SuperViewW1三维表面微观形貌测量

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品牌: 中图仪器
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所在地: 广东 深圳市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-03-30 16:47
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详细说明
SuperViewW1白光干涉仪品牌分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中,可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量要求。


 
产品功能
1)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;
2)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;
3)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;
4)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;
5)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;
6)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具备word、excel等数据报表导出功能。
光学3D表面轮廓仪,白光干涉仪

工作原理
光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光*终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

 
SuperViewW1白光干涉仪品牌专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。,它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。
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