光学轮廓仪白光干涉仪

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品牌: 中图仪器
单价: 面议
起订: 1 台
供货总量: 99 台
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 广东 深圳市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-12-14 19:22
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详细说明
 SuperViewW1光学轮廓仪白光干涉仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描测量,对产品进行高品质监控时不需要取下产品或停止生产,而且采用的是非接触式光学测量,在获得实时数据的同时,不会对产品造成任何损伤,从而有效节约了生产成本,提高了生产效率,并且在线检测,没有滞后性,从而减少不合格品,对表面缺陷检测亦如此。

SuperViewW1光学轮廓仪白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。仪器具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

 

结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。

 

SuperViewW1光学3D表面轮廓仪,白光干涉仪品牌



除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,SuperViewW1光学轮廓仪白光干涉仪具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。针对芯片封装测试流程的测量需求,X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。

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