1.可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
2.结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
3.可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
检定测长机
机床检测
SJ6000机床专用激光测量干涉仪可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;也可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
量程精度
稳频精度:0.05ppm
线性测量精度:0.5ppm(0-40)℃
线性测量距离:(0-80)m(无需远距离线性附件)
角度测量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
SJ6000机床专用激光测量干涉仪是一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,它的干扰能力强,精度高,测量结果可靠,在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。