SJ6000激光干涉仪光学测量球面

SJ6000激光干涉仪光学测量具有高精确测量、计算的系统性能和便携式操作等特点。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率。

 

 

1、易操作，方便携带

SJ6000激光干涉仪和镜组以及环境补偿器，外形小巧美观方便携带，一套完整的激光干涉仪和镜组只需要装在一个类似于行李箱的工具箱中，整体加起来的重量轻，再加上一个可以自由伸缩调整高度的三脚架（装在无纺编织袋中），随时随地可用于机械测量。激光干涉仪与环境补偿器都有端口和计算机USB接口相连，实时传递检测数据，供计算机检定软件测算，检定过程轻松易掌握，没有复杂的程序设定。

2、高精确度保证动态性能

氦氖激光器持续输出高稳频的激光源，再加上环境补偿器，使线性测量的精度稳定在0.5ppm，动态采集数据频率高达50KHz，测量速度4m/sec，高速测量下的分辨率为1nm。

3、技术品质高

精心的设计和严格把关的制造，持续提供技术支持，对产品质量保证都显得尤为重要，完善的售前、售中、售后和全国支持网络。

4、适用性和灵活性

SJ6000激光干涉仪架设灵活，对各种复杂结构的机床、平台和导轨都具有广泛适用性，测量快速简便，减少重复定位测量的时间，同时得到精确直观的检测数据。

 

技术规格

 

 

产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

▲主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

SJ6000激光干涉仪光学测量具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。